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半導體行業有機廢氣環保設備解決解決方法

發布時間:2022-07-16 10:40人氣:

半導體行業有機廢氣解決解決方法
 
半導體行業做為高新科技產業鏈,通常被別人誤會為“清理”產業鏈,但實際上,半導體材料生產過程中應用了很多有機化合物和無機化合物,包含很多有害有害物,對污染環境比較比較嚴重,如不加以控制,可能造成很大的空氣污染。一些半導體產業比較發達的國家和地區,如英國、法國和臺灣省等,都對于半導體行業制訂了相對的環保標準。
 
半導體行業中應用的清潔液、顯影劑、光刻技術、蝕刻液等有機溶劑,帶有很多的有機化合物成份。在工藝加工工藝全過程中,這種溶劑絕大多數根據蒸發變成廢氣排出。
 
半導體行業有機廢氣解決,現階段一般采用吸附、焚燒處理或二者緊密結合的解決方式。吸附是運用多孔結構固態吸附劑解決混合氣,使在其中含有的一種或多種多樣成分吸附在固態表層,做到分離出來的目地。吸附劑可選擇性高,能分離其他全過程無法分離的化合物,合理地消除或收購 濃度值很低的有害物,清潔高效率,機器設備簡易,實際操作便捷,且能完成自動控制系統。
 
可是,固態吸附劑的吸附容積小,必須很多的吸附劑,機器設備巨大,且吸附后吸附劑必須再造解決,是吸附解決的關鍵缺陷。半導體材料生產制造場地蒸發出去的有機廢氣根據部分排風罩搜集,經濟管理道送至吸附凈化設備。一般采用活性碳做為吸附劑。由于活性碳是非極性吸附劑,對廢氣中水蒸汽的敏感度不高,且價格低。焚燒處理的方式也普遍用以半導體行業解決各種各樣有機廢氣,根據苛化將有機化合物轉換為CO2和H20。另外,焚燒處理對解決平穩總流量和濃度值的廢氣也是一種非常好的方式。在苛化中,有機廢氣流歷經加溫,液相中的有機化合物被氧化。為節約然料應用,一般 還應用換熱器,收購 焚燒處理造成的發熱量對進口汽體開展加熱。針對解決大流量、較低濃度的的汽體,一般 都需要采用這類方式。因為半導體行業廢氣焚燒處理會造成SiO2,且SiO2會使金屬催化劑鈍化處理,因而半導體行業中非常少采用觸碰空氣氧化的方式。
 
在廢氣整治層面,半導體行業酸、堿廢氣一般采用相對的燒堿溶液消化吸收和酸液消化吸收開展解決,加工工藝方式已很完善,只需適度提升有關加工工藝主要參數,可以考慮本規范的規定。
 
現階段,有機廢氣解決常見加工工藝有:吸附法、消化吸收法、立即點燃法、催化燃燒裝置法、冷疑法等。吸附法采用活性碳立即吸附,清潔效果非常的好,可是經營成本會很高;消化吸收法合適于溫度低、中濃度較高的的廢氣;立即點燃法合適于濃度較高的、小排風量廢氣整治;冷疑法適用成份相對性單一、濃度值高、且有一定收購 使用價值的有機廢氣。而針對半導體行業較低濃度的、風大量、成份繁雜的有機廢氣,吸附法、消化吸收法、點燃法、冷疑法均不適合,較為可用的是吸附+催化燃燒裝置法。
 
半導體行業有機廢氣解決,現階段中國一些大中型半導體企業已采用沸石轉輪吸附濃縮后點燃,該方式適用風大量、較低濃度的、常溫下的有機廢氣解決,清潔高效率做到90%之上,濃縮比達20﹕1,運作花費較低,機器設備解決排風量大,占地小,不造成二次污染,可持續性吸附并解決空氣污染物。

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